等(deng)離子(zi)體(ti)主(zhu)要是(shi)通過氣體(ti)放電產生，其中(zhong)包含電子(zi)、離子(zi)、自由基以及(ji)紫外線等(deng)高能量物質，具有(you)活化材料(liao)表面(mian)的作用。下(xia)面(mian)，三和波達介紹下(xia)等(deng)離子(zi)體(ti)清洗技術分為幾類。

　　根據反應(ying)類型不同，等(deng)離(li)子(zi)體(ti)清(qing)(qing)(qing)洗技(ji)術可分為兩(liang)類：等(deng)離(li)子(zi)體(ti)物(wu)理清(qing)(qing)(qing)洗，即(ji)借助活性粒(li)子(zi)和高能射(she)線(xian)轟(hong)擊而使污染物(wu)脫(tuo)離(li)；等(deng)離(li)子(zi)體(ti)化學清(qing)(qing)(qing)洗，即(ji)通過活性粒(li)子(zi)與雜(za)質分子(zi)反應(ying)而使污染物(wu)揮發脫(tuo)離(li)。

　　（1）激(ji)發(fa)(fa)頻率(lv)(lv)對等(deng)離子體(ti)的清洗類(lei)型(xing)具有一定影(ying)響。例如，超聲等(deng)離子體(ti)（激(ji)發(fa)(fa)頻率(lv)(lv)，40kHz）發(fa)(fa)生的反(fan)(fan)(fan)應(ying)多為(wei)物理(li)反(fan)(fan)(fan)應(ying)；微波(bo)等(deng)離子體(ti)（激(ji)發(fa)(fa)頻率(lv)(lv)，2.45GHz）發(fa)(fa)生的反(fan)(fan)(fan)應(ying)多為(wei)化(hua)學反(fan)(fan)(fan)應(ying)；而射頻等(deng)離子體(ti)（激(ji)發(fa)(fa)頻率(lv)(lv)，13.56MHz）則涉及到物理(li)、化(hua)學雙重反(fan)(fan)(fan)應(ying)類(lei)型(xing)。

　　（2）工作氣(qi)體(ti)(ti)種類(lei)對等(deng)離(li)子體(ti)(ti)清洗類(lei)型也具有(you)一定影響(xiang)。例如，惰性氣(qi)體(ti)(ti)Ar2、N2等(deng)被激發(fa)(fa)產生的等(deng)離(li)子體(ti)(ti)主(zhu)要用于物理(li)清洗，借助轟擊(ji)作用使材料表面清潔(jie)；而反應(ying)性氣(qi)體(ti)(ti)O2、H2等(deng)被激發(fa)(fa)產生的等(deng)離(li)子體(ti)(ti)則主(zhu)要用于化學清洗，借助活潑自由(you)基與污染物（多為碳氫化合物）發(fa)(fa)生化學反應(ying)，產生一氧化碳、二氧化碳、水等(deng)小分子，從材料表面移除。

　　（3）等離子體(ti)清(qing)洗(xi)類型對清(qing)洗(xi)效果具有(you)(you)(you)一定的影(ying)響。等離子體(ti)物理清(qing)洗(xi)可使材(cai)料表面的粗糙(cao)度增加，有(you)(you)(you)助于(yu)提高材(cai)料表面的附(fu)著力；等離子體(ti)化學(xue)清(qing)洗(xi)可以(yi)顯(xian)著增加材(cai)料表面的含氧、含氮以(yi)及其他類型的活性基團，有(you)(you)(you)助于(yu)改(gai)善(shan)材(cai)料的表面浸潤性。

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