等離子(zi)體清洗(xi)工藝(yi)中影響清洗(xi)效率原因參(can)數主(zhu)要有以下幾個(ge)方(fang)面：

　　1、放(fang)電(dian)氣壓

　　對于(yu)(yu)低壓等離子(zi)(zi)體(ti)(ti)，放(fang)電(dian)氣(qi)(qi)壓增加，等離子(zi)(zi)體(ti)(ti)密度越(yue)高，電(dian)子(zi)(zi)溫度隨之降低。而等離子(zi)(zi)體(ti)(ti)的(de)清洗(xi)效(xiao)果取決(jue)于(yu)(yu)其密度和(he)電(dian)子(zi)(zi)溫度兩(liang)個方面，如密度越(yue)高清洗(xi)速(su)率(lv)越(yue)快、電(dian)子(zi)(zi)溫度越(yue)高清洗(xi)效(xiao)果越(yue)好。因此，放(fang)電(dian)氣(qi)(qi)壓的(de)選(xuan)擇對低壓等離子(zi)(zi)體(ti)(ti)清洗(xi)工(gong)藝至關重要。

　　2、氣體種類(lei)

　　待處理物件的(de)(de)基(ji)材及其表面污染(ran)物具(ju)有多樣(yang)性，而不(bu)同氣體(ti)(ti)(ti)放電所(suo)產生的(de)(de)等(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)(ti)(ti)清洗速(su)度和清洗效(xiao)果(guo)又相差(cha)甚(shen)遠。因此(ci)應該有針對性地選擇等(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)工作氣體(ti)(ti)(ti)，如可選用氧氣等(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)(ti)(ti)去除物體(ti)(ti)(ti)表面的(de)(de)的(de)(de)油脂污垢，選用氫氬混合氣體(ti)(ti)(ti)等(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)(ti)(ti)去除氧化層。

　　3、放電功率

　　放(fang)電功率(lv)增大(da)，可(ke)以增加等(deng)離子體的密度和(he)活(huo)性粒子能量，因而提高清洗效果。

　　4、暴露時間

　　待清(qing)洗(xi)材(cai)料在等離(li)子(zi)(zi)體中的暴露時間對(dui)其表(biao)面清(qing)洗(xi)效果及等離(li)子(zi)(zi)體工作效率(lv)有很大影響。暴露時間越(yue)長清(qing)洗(xi)效果相(xiang)對(dui)越(yue)好，但(dan)工作效率(lv)降(jiang)低。并且，過長時間的清(qing)洗(xi)可能會對(dui)材(cai)料表(biao)面產生損傷。

　　5、傳動(dong)速度

　　對(dui)于(yu)常壓等(deng)離子體(ti)清洗(xi)工藝，處(chu)理大(da)物(wu)件時(shi)會涉及連(lian)續傳動(dong)問題。因此待(dai)清洗(xi)物(wu)件與(yu)電極的相對(dui)移動(dong)速(su)度(du)越慢，處(chu)理效果(guo)越好，但速(su)度(du)過慢一方面影響工作(zuo)效率，另一方面也可能(neng)造成處(chu)理時(shi)間過長產生材料表面損傷。

　　6、其他

等(deng)離子體(ti)清(qing)洗工(gong)藝(yi)中(zhong)的氣體(ti)分(fen)配、氣體(ti)流量、電(dian)極(ji)設(she)置等(deng)參(can)數也會(hui)影響清(qing)洗效(xiao)果。因此需要(yao)根據實際情況和清(qing)洗要(yao)求設(she)定具(ju)體(ti)的、適合的工(gong)藝(yi)參(can)數。

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