等離子清洗機去除金屬氧化物原理。
作者：等離子清洗機發表時(shi)間：2017-06-08 19:10:51瀏(liu)覽量：4924【小中大】
等離子清洗機去除金屬氧化物
化學清洗:表面反應以化學反應為主的等離子體清洗，又稱PE。
例：O2＋e－→2O※+e－ O※＋有機物→CO2+H2O
從反應式可見，氧等離子體通過化學反應可使非揮發性有機物變成易揮發的H2O...
文本標簽：
等離(li)子清(qing)洗機去除金(jin)屬氧(yang)化(hua)物
化學清洗:表(biao)面反(fan)應以化(hua)學反(fan)應為主的等離(li)子體清洗，又稱PE。
例：O2＋e－→ 2O※ +e－ O※＋有機(ji)物(wu)→CO2+H2O
從(cong)反(fan)應式可見，氧等離子體通過化學反(fan)應可使非揮(hui)發性(xing)有機物變成易(yi)揮(hui)發的H2O和(he)CO2。
例：H2+e-→2H※+e- H※+非揮發性金屬氧化物→金屬＋H2O
從反應(ying)(ying)式可見，氫等離(li)子體通過化學反應(ying)(ying)可以(yi)去除金(jin)屬表(biao)(biao)面(mian)氧化層，清潔金(jin)屬表(biao)(biao)面(mian)。
物理清洗(xi)：表面(mian)反(fan)應以物理反(fan)應為主的等離子(zi)體(ti)清洗(xi)，也叫濺射腐蝕（SPE）。
例：Ar＋e-→Ar++2e- Ar++沾(zhan)(zhan)污→揮發性沾(zhan)(zhan)污
Ar+在自偏壓或外加偏壓作用下被加速產(chan)生動能，然后轟擊被清洗工件表(biao)(biao)面(mian)，一般用于去除氧化物、環氧樹脂溢出或是微(wei)顆粒污(wu)染物，同時進行表(biao)(biao)面(mian)能活化。
2017-06-08
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